Nanoscience - Sputtering

Il laboratorio è attrezzato per svolgere attività correlate alla deposizione fisica da vapore per la di film sottili mediante il fenomeno dello sputtering; inoltre presenta una zona dedicata alla caratterizzazione elettrica di dispositivi, in particolare per lo sviluppo e la caratterizzazione di sensori di gas e biomolecole ad effetto di campo (EGOFET, GFET, …)